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クリーンルーム

エレクトロニクス産業をはじめとする各産業の高品質・生産効率が求められています。製作・組み立て・検査分析までクリーンな環境での製作が可能です。(クラス10000 アメリカ連邦規格Fed. Std. 209D)

ヘリウムリークディテクター

一般的な真空法の検査では対象の試験体内部を真空状態にします。その後試験体外部からHeを吹きつけます。溶接ポイントではピンホールやクラックの溶接不良部、継ぎ手箇所では締め込み不良や端面の傷などの不良部より、吸い込まれたHeガスの量を分析管が感知します。(最小可検リーク量：1×10^-12 Pa･m³/sec)

自動気密計

温度センサーを標準に装備し検査時の温度変化による落圧・上昇を自動補正・リーク量の算出を行い、微小な漏れ・変化の検査ができます。プリンター内蔵の為、検査開始から終了までの温度・時間・圧力の変化などのデータが即時に確認できます。

パーティクルカウンター

検査機本体に内蔵されている吸引ポンプでサンプルガスを一定量取り込みます。サンプルガス取り込み中に光散乱方式により粒子径及び粒子数をカウントします。(最小粒子感度0.1μｍ)

露点計 (水分計)

薄膜式酸化アルミニウム被膜検出器の使用により、測定ガスの流速、圧力変化・温度依存性の影響を受けず、サンプルガス中の水分の測定を行います。